JIMA RT RC-04分辨率测试卡是一种用于设置和测试微焦 X 射线系统的光刻生产的测试模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之间的分辨率,对应于 0.2 µm 和 20 µm 之间的焦斑尺寸。不同距离的线束应用于硅载体
JIMA RT RC-04分辨率测试卡特点:
测试卡封装在一个防护盒中
盒子的外形尺寸(W×D×T):40×30×5mm
芯片尺寸(W×D×T):5×5×0.015mm
图案布局:T型
线/空间尺寸:32种规格图案,
0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,
0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm,7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,
- 每个测试图案由 8 条线组成,T 形布局
- 吸收材料:钨,厚度>=650nm
- 保护膜:PET膜25μm(含粘合剂)
- 硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)
- 外壳尺寸:40 x 30 x 5 毫米(宽 x 高 x 深)
- 芯片尺寸:5 x 5 x 0.06mm(宽 x 高 x 深)
- 精度模式: 公差: +/- 10%
- 适用范围工作温度:10°C至70°C
JIMA RT RC-04分辨率测试卡用途:
在 X 射线系统的分辨率测试。选择检测器、样品和试管之间的距离,以便获得尽可能高的放大倍数。现在选择所需的 X 射线参数。将测试图案放置在试管前面,以便一束线条中的每条线条清晰可见。使用机械手进行溶出度测试,使下一个最小的线束变得可见。只要线条清晰,就继续。以下近似适用:焦点尺寸等于分辨率乘以 2。
JIMA RT RC-04分辨率测试的布局+封装
![JIMA RT RC-04分辨率测试卡](http://www.zykang.cn/uploadfile/2021/0610/20210610030325686.jpg)
![JIMA RT RC-04分辨率测试卡](http://www.zykang.cn/uploadfile/2021/0610/20210610025846749.jpg)