JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA分辨率测试卡详细介绍:
JIMA RT RC-05B是一款采用最新半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡。它用于校准和监控系统分辨率,确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m至50 µ m)的分辨率。这对应于6微米和100微米(6 µ m和100 µ m)之间的焦斑尺寸。
![JIMA RT RC-05B分辨率测试卡分布图](http://www.zykang.cn/uploadfile/2022/1201/20221201023043648.png)
16组I&T布局,2x2 mm,8x8 mm硅基,如上图
下图为尺寸为5 μm I&T的图像
Au Slit的数量为3行和2个空格
宽度3至10 μm:T形布局
宽度15至50 μm:I形布局L/S宽度
L/S宽度:3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm
JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA分辨率测试卡实物拍摄图:
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